使用高介电强度气体是削弱、电离和加强去离子的方法之一。
高介电强度气体是指介电强度高于空气的气体，如卤素气体，包括六氟化硫（SF6）、氟利昂（CCI2F2）等。
几种气体的相对二元强度（在相同压力和分离距离下，气体的二元强度与空气的二元强度之比）、气体的分子量和气体液化温度（0.1 MPa）。它可以大大提高差距。在空气中加入一定比例的高胆汁气体也能在一定程度上增加通电间隙。
卤化物气体介电强度高的原因如下：
卤素气体具有很强的电负性，气体分子很容易与电子结合形成离子。负秒在气体放电理论中，负离子对分解过程的贡献远小于电子，从而导致电子数的减少。导致ELE场电离度降低电。同时，负离子的存在促进了带电粒子的复合过程。
由于这些气体的分子直径大，电子的自由程短，很难积累能量，从而降低了电子的电离能力。
当电子遇到这些不同气体的分子时，很容易使气体的分子结构极化，从而增加能量损失，降低电场的电离能力。
SF6广泛应用于高压电器领域。
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